工作環境

<1×10-3Pa

光學真空外罩

可定制

頂部快拆

緊湊/非緊湊

防熱屏蔽層

安裝溫度計的防輻射屏

光學窗口

光窗數量

標準4個

頂部擴展1個

光窗材質

石英

光窗直徑

25mm

樣品形式

薄膜或粉末

樣品環境

真空

普通鍍金樣品臺

光學樣品臺

完*定制（1個）

電學樣品臺

完*定制（1個）

普通電學樣品卡

電學樣品卡

完*定制（5個）

閥門

抽口閥門

1個

安全閥門

1個

破空閥門

1個

6針電學真空接頭

用于連接控溫儀

3個可選電學接口

1-19芯

可選配置

電學接口

SMA

BNC

TRB

頂部擴展窗口

垂直光窗

其他材質窗口

氟化鈣

藍寶石

硒化鋅

低漏電接口

100fA

制冷量（50Hz）

一級

二級

50W@43K

1.3W@4.2K

降溫時間（二級）

<60min（4.2K）

重量

冷頭

壓縮機

20kg

118kg

對接壓縮機

KDC6000V

功耗50Hz

穩態

降溫

6.5kW

7.2kW

冷卻方式

水冷

水冷卻流量

7~10L/min

標準軟管

20A×20m

維護周期

10000h

氦壓縮機

電源要求

380,400V@50Hz 3P 480V@60Hz 3P

氦氣純度

＞99.999%

冷卻方式

水冷

水流量

7L~10L/min（25℃）

冷卻水溫度

進口

出口

5~25℃

<44℃

功耗50Hz

穩態

降溫

6.5kW

7.2kW

壓力范圍（運行）

排氣

回氣

16.6~23bar

2.8~6.9bar

環境溫度要求

運行

儲存

4~40℃

-20~65℃

相對濕度

運行

儲存

30%-70%

10%-90%(不結露)

環境壓力要求

運行

儲存

70kPa~110kP

20kPa~110kPa

對接標準軟管

20A×20m

維護周期

30000h

重量

118kg

溫度計

測溫范圍

1.4K-500K

溫控儀

溫度輸入數量

2，2通道獨立輸入

控溫通道

1

溫度下限

300mK

水冷機

Integrative

分體機

制冷量

8000W @25℃

控溫方式

啟停式

冷卻方式

壓縮機制冷

控溫精度

±1℃

控溫范圍

5~35℃

額定流量(L/min@Bar)

25@3.5

最大壓力

4.3bar

水箱容積

90L

制冷劑

R410A

外形尺寸(室內機)

430X635X940(寬x深x高)

外形尺寸(室外機)

865x310x710(寬x深x高)

蒸發器類型

不銹鋼盤管

水槽材質

SUS304不銹鋼水箱

接口尺寸

Rp1

電源要求

220V/380V，50Hz

電功率

4.3/3.3KW

分子泵

接口法蘭

DN100 CF

抽氣速率L/S(對空氣)

110

壓縮比

＞108（N2）

5×102（H2）

極限壓強 (Pa)

6×10-7

建議啟動壓強（Pa）

＜100

輸入電壓頻率(V/Hz)

220±20/50

前級泵型號

RV4（標配）

冷卻方式

風冷、水冷

冷卻水壓力(MPa)

0.1-0.2

冷卻水溫度(℃）

≤25

冷卻水流量（L/min）

>1

安裝方式

垂直

環境溫度 (℃)

5～40

長×寬×高（mm）

500×510×685

重量（kg）

52

低溫制冷機冷頭

氦壓縮機

分體式冷水機：由室內機和室外機組成

分子泵

粉末樣品臺

薄膜樣品臺

電學測試卡示意圖