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光譜角分布測量系統(tǒng)
全波段光譜透過率測量，透射角分布測量
全波段光譜反射率測量，反射角分布測量
波長范圍:200nm-IR
不同的光譜范圍可能需要不同的光學(xué)光路設(shè)計結(jié)構(gòu)
雙層平臺獨立旋轉(zhuǎn)，重復(fù)定位精度0.005°，分辨率0.00125°
樣品置于上層旋臺，探測器置于下層旋臺，樣品和探測器可以任意角度工作
臺面上放置一個五維調(diào)整鏡座，可將樣品調(diào)整到旋臺的旋轉(zhuǎn)中心并且垂直于臺面
功能擴展：測量光柵衍射效率
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