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對(duì)位平臺(tái)XYR系列是卓立漢光為解決工業(yè)生產(chǎn)線上，對(duì)工件進(jìn)行高精度、高重復(fù)使用頻率對(duì)位、邦定、貼合等使用要求而開(kāi)發(fā)的三軸并聯(lián)式對(duì)位機(jī)構(gòu)。每臺(tái)平臺(tái)，由上臺(tái)面、下底面及中間的 4 套模組構(gòu)成，每套模組均采用交叉滾柱導(dǎo)軌和交叉滾子軸承導(dǎo)向，帶驅(qū)動(dòng)模組（3 套）采用小導(dǎo)程滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)，標(biāo)配步進(jìn)電機(jī)，也可換裝五相步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī)。

XY 系列產(chǎn)品是卓立漢光為解決工業(yè)生產(chǎn)線上，對(duì)工件進(jìn)行高精度、高重復(fù)使用頻率掃描等使用要求而開(kāi)發(fā)的二維整體式對(duì)位平臺(tái)，XY 系列已全面取代老款 TSAW 及 MScope 系列產(chǎn)品。XY整體二維對(duì)位平臺(tái)采用交叉滾柱導(dǎo)軌，滾珠絲杠傳動(dòng)，整體式設(shè)計(jì)，可有效提高正交度和運(yùn)動(dòng)精度。中心設(shè)計(jì)有通光孔，通光孔也可另配玻璃或鋁合金蓋板，實(shí)現(xiàn)透射、反射式的掃描或?qū)ξ恍枨蟆?/p>

OTNS系列隔振光學(xué)平臺(tái)儀器支架是隔振光學(xué)平臺(tái)應(yīng)用的延伸，獨(dú)立放置 , 可放置示波器、各種控制器、適配器、電腦等，不僅可以充分利用隔振光學(xué)平臺(tái)上方的空間，且操作各類儀器時(shí)不影響平臺(tái)的的穩(wěn)定性。

DVIO-MO系列主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)主動(dòng)隔振支撐部分主要包括了被動(dòng)隔振機(jī)構(gòu)和主動(dòng)隔振器 DVIA-M，每個(gè)支撐里面一般會(huì)有 4 個(gè) DVIA-M 系列主動(dòng)隔振器和一臺(tái)主控箱。主動(dòng)隔振器包含了采集信號(hào)的傳感器和消除振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器，主要消除 0.5-10Hz 的外部振動(dòng) , 被動(dòng)隔振系統(tǒng)部分同時(shí)承擔(dān)著支撐負(fù)載和隔絕高頻率振動(dòng)的作用。

ZDR系列氣浮隔震平臺(tái)臺(tái)面整體為三層夾心式蜂窩結(jié)構(gòu)，上臺(tái)面材料為 SUS430（1Cr17）高導(dǎo)磁不銹鋼，具有很好的耐腐蝕性能。

ZDP系列半膜片式氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)剛性高、穩(wěn)定性好、隔振效果好，適合于科研級(jí)精密隔振要求的領(lǐng)域使用。