北京卓立漢光儀器有限公司將于2022年12月27日在上海舉辦“卓立造，中國(guó)芯"——2023年度新品發(fā)布會(huì)，屆時(shí)將為大家解鎖多款卓立漢光公司自主研發(fā)的新產(chǎn)品和解決方案，包括匠心打造的高精度“精工"系列光機(jī)/激光產(chǎn)品，微觀時(shí)空分辨的飛秒瞬態(tài)吸收成像系統(tǒng)/顯微熒光壽命成像系統(tǒng)/瞬態(tài)光電流與光電壓分析系統(tǒng)，以及針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)和在線檢測(cè)的解決方案。

精彩敬請(qǐng)期待。

發(fā)布會(huì)亮點(diǎn)搶先看

HXP系列六軸并聯(lián)機(jī)器人：揭秘全自由度運(yùn)動(dòng)

高精度、高集成度、高效率的全自由度運(yùn)動(dòng)，適合于空間精密對(duì)位，微小器件加工和裝配，光通信器件調(diào)芯，晶片檢驗(yàn)等應(yīng)用

納米壓電位移臺(tái)：納米至亞納米量級(jí)的高精度運(yùn)動(dòng)控制

可選控制方式為線性，旋轉(zhuǎn)，擺角，掃描。最小單步步長(zhǎng)可達(dá)10nm，使用20kHz超聲頻段驅(qū)動(dòng)，無刺耳運(yùn)動(dòng)噪聲。全系產(chǎn)品均可提供超高真空兼容版本以及無磁版本以滿足特殊工況要求。

TBR57電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)：無懼工況復(fù)雜、高耐用性要求的自動(dòng)化生產(chǎn)線

導(dǎo)向機(jī)構(gòu)采用精密交叉滾柱軸環(huán)，負(fù)載能力強(qiáng)、耐用性好，可水平、豎直、倒置使用；調(diào)隙機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，有效較小背隙。高耐磨性、高硬度，內(nèi)置零位傳感器，使用方便。

TPR氣浮隔振& DRN阻尼隔振光學(xué)平臺(tái): 為精密光學(xué)實(shí)驗(yàn)隔振護(hù)航

TPR氣浮隔振平臺(tái)，使用了三線擺+層流阻尼技術(shù)，對(duì)水平和豎直方向的震動(dòng)有非常好的隔振效果，技術(shù)先進(jìn)，性能佳。5Hz隔振效率高達(dá)85%。

DRN阻尼隔振光學(xué)平臺(tái)，采用雙頻阻尼隔振機(jī)構(gòu)配合低固有頻率材料，使整體固有頻率降低到9Hz以下，為精密光學(xué)實(shí)驗(yàn)提供穩(wěn)定且隔振的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。

焦斑分析儀&采樣衰減模塊: 無需繁瑣光路調(diào)試，助力高精度微納加工

焦斑分析儀采用高機(jī)械精度一體化設(shè)計(jì)，整體光軸偏移控制在0.5°以內(nèi)，可校準(zhǔn)的放大率，三種貼心安裝方式，靈活可拆分的鏡頭和部件，滿足客戶個(gè)性化的需求。

采樣衰減模塊采用較高機(jī)械精度固定部分自由度，幫助客戶提高光路的可重復(fù)性，更加容易調(diào)出兩套比較一致的衰減系統(tǒng)。衰減值切換，模塊組合、系統(tǒng)集成的便利性，可為客戶節(jié)約大量成本、時(shí)間和精力。

Omni-TAM900寬場(chǎng)飛秒瞬態(tài)吸收成像系統(tǒng): 看見載流子的運(yùn)動(dòng)

集成像和動(dòng)力學(xué)于一體，聯(lián)合飛秒泵浦-探測(cè)技術(shù)和顯微技術(shù)，通過自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的干涉放大技術(shù)增強(qiáng)圖像信噪比，可獲得高質(zhì)量的成像效果并大幅度縮短測(cè)試時(shí)間。高靈敏、高通量，可測(cè)量到單個(gè)納米顆粒、單層石墨烯乃至單層分子晶體的瞬態(tài)吸收信號(hào)。

顯微熒光壽命成像系統(tǒng)：基于光譜儀搭建，Mapping更輕松

基于高靈敏度時(shí)間相關(guān)單光子計(jì)數(shù)TCSPC設(shè)計(jì)，聯(lián)合科研級(jí)正置顯微鏡和光譜儀，F(xiàn)L Mapping和Lifetime Mapping 無縫切換。定位精度<1um，多類型激光器可選，內(nèi)部光學(xué)元件可以支持多路激光耦合。

TPV/TPV分析系統(tǒng): 光電器件動(dòng)力學(xué)過程解析利器

光電測(cè)試系統(tǒng)針對(duì)光電器件動(dòng)力學(xué)分析新開發(fā)的功能，可得到光生電流的響應(yīng)時(shí)間，如上升/下降時(shí)間，瞬態(tài)光電流與瞬態(tài)光電壓曲線。從而可以分析光電器件內(nèi)部的動(dòng)力學(xué)過程，如載流子的遷移率、載流子的壽命、載流子的擴(kuò)散長(zhǎng)度等。

SPM 系列半導(dǎo)體測(cè)試方案：專為半導(dǎo)體測(cè)試應(yīng)用而生

SPM300系列半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀/SPM600系列半導(dǎo)體參數(shù)分析儀/SPM900系列少子壽命成像測(cè)試儀，面向半導(dǎo)體行業(yè)推出的專用機(jī)型，可進(jìn)行載流子濃度表征、應(yīng)力分析、雜質(zhì) /缺陷分析、載流子壽命分析、光電測(cè)試分析等

在線LIBS+PLIF解決方案：原位實(shí)時(shí)檢測(cè)，快速定性定量

激光誘導(dǎo)擊穿光譜（LIBS）利用脈沖激光激發(fā)出所含物質(zhì)的對(duì)應(yīng)譜線進(jìn)行含量成分分析。其優(yōu)點(diǎn)在于快速，簡(jiǎn)單，不受樣品性狀影響，并且既可以定性分析，又可以進(jìn)一步進(jìn)行定量分析。

片光源激光誘導(dǎo)熒光（PLIF）是利用將激光整形成厚約幾毫米的片光源激發(fā)燃燒場(chǎng)獲得燃燒場(chǎng)中化學(xué)成分的發(fā)射光譜，例如氧原子，氮原子，OH鍵，CH鍵等。通過在線監(jiān)測(cè)軟件，可以很直觀的獲得燃燒場(chǎng)的溫度分布等參數(shù)信息。